Детекторы STEM

Рисунок 1. Моторизованный выдвижной детектор прошедших электронов и специальный 8-ми позиционный держатель для сеточек.

Детектор прошедших электронов R-STEM позволяет проводить анализ тонких пленок и ламелей с высокой разрешающей способностью. Исследование образцов методами просвечивающей электронной микроскопии с помощью сканирующего электронного микроскопа является популярным методом исследований в лабораториях, не имеющих просвечивающий электронный микроскоп. В комплекте со STEM-детектором поставляется специальный 8-ми позиционный держатель для сеточек (рисунок 1).

Рисунок 2. Упрощенная схема STEM-детектора и диаграмма соответствия углов рассеяния электронов φ сигналам детектора в зависимости от рабочего расстояния

Прошедшие электроны, рассеянные под разными углами, несут разную информацию о исследуемом образце (рисунок 2):

• сигнал Bright Field (BF) – контраст ориентации брэгговской дифракции и контраст поглощения в тонких образцах;
• сигнал Dark Field (DF) – частично ориентационный контраст и композиционный контраст от легких элементов
• сигнал High Angle Dark Field (HADF) – максимальный композиционный контраст и минимальный контраст брэгговской дифракции.

Рисунок 3. Коррозия, распространяющаяся сквозь хромовое покрытие на стали. BF, DF, HADF, ColorSTEM изображения и EDS-карта ламели, изготовленной с помощью FIB

Углы рассеяния электронов зависят от материала образца, его толщины и энергии первичного пучка электронов. Новая моторизованная выдвижная конструкция детектора оптимизирована для удобного проведения исследования образца, включая изменение рабочего расстояния или эуцентрического наклона над детектором. При изменении рабочего расстояния изменяется угловое распределение электронов, регистрируемое детектором. Таким образом, изменяя рабочее расстояние, можно максимально собрать тот или иной сигнал прошедших электронов. Также с помощью R-STEM детектора можно накопить псевдоцветное изображение (ColorSTEM), где BF-сигналу соответствует красный цвет, DF-сигналу – зеленый цвет, а HADF-сигналу – синий цвет (рисунок 3).

Рисунок 4. Наночастицы CsPbBr3

Рисунок 5. Квантовые точки сульфида кадмия