Автоматизированная оптоэлектронная зондовая станция предназначена для тестирования фотонных интегральных схем на пластинах диаметром до 150 мм и одиночных чипов в автоматизированном режиме.
Зондовая станция CALIBRI 150 SiPh
Зондовая станция серии CALIBRI 150 SiPh – российская разработка, реализуемая на средства гранта РНФ при софинансировании, соисполнении и по заказу Иннфокус.
По заданию Заказчика мы можем модернизировать установку, развивать специализированный функционал ПО, применять иные модули и технические решения.
Технические характеристики
| Возможность работы с оптоэлектронными пластинами | до 150 мм |
| Возможность торцевого ввода излучения в одиночные образцы | наличие |
| Программное обеспечение для автоматизации перемещений | наличие |
| Программное обеспечение для автоматизации измерений | наличие |
| Трехуровневая защита от вибраций | наличие |
| Интеллектуальный модуль видеомикроскопа с автофокусом | наличие |
| Программно-аппаратная система защиты от столкновений | наличие |
| Интеграция с производственными процессами | наличие |
| Интегрированные процедуры оптических юстировок | наличие |
| Горизонтальная камера видеонаблюдения | наличие |
Модули зондовой станции
Опциональные модули
Базовые опоры корпуса, первый уровень виброизоляции
|
|
|---|---|
|
Стандартные резинометаллические |
Пневматические виброопоры |
Виброизоляция зоны эксперимента от корпуса
|
|
|
|---|---|---|
|
Пневматические виброопоры с датчиком уровня мембранного типа |
Сотовая оптическая столешница |
Гранитная плита |
Корпус для базирования зондовой станции
|
|
|---|---|
|
Массивный корпус из тяжелого профиля с эргономикой рабочего пространства и организацией кабельной трассировки |
Размещение на оптическом столе в лаборатории Заказчика |
Позиционеры, держатели и номенклатура DC/RF зондов
|
|
|---|---|
|
|
 |
|
Номенклатура позиционеров, держателей, зондов, кабельных сборок, калибровочных пластин и пр. подбирается под задачу по согласованию с Заказчиком. Возможно применение различных производителей. |
|
Позиционеры, держатели и номенклатура оптических зондов
|
|
|---|---|
|
Номенклатура держателей, зондов, FAB, подбирается под задачу по согласованию с Заказчиком. Держатели разрабатываются и производятся Иннфокус. |
|
XYZ стол зоны позиционирования пластины
|
|
|
|---|---|---|
|
Экономичный вариант XY-стола на шаговых двигателях. Ниже точность, больше ошибка пространственной геометрии, что приведет к увеличению времени подвода зондов из-за необходимости исправления ошибки. |
XY стол на прямом приводе. Более высокие разрешение и точность позиционирования, меньше ошибка геометрии плоскости. |
Премиальное решение XY стола на аэростатичных подшипниках с высокой точностью и скоростью позиционирования. Решение производится в России, возможны опциональные модернизации. |
Держатель центрального стола (держатель образца)
|
|
|
|---|---|---|
|
Вакуумный держатель пластины без температурного режима |
Вакуумный держатель пластины с температурным диапазоном |
Механический держатель одиночного образца без или с температурной стабилизацией. Возможны индивидуальные конфигурации, разрабатываются и производятся Иннфокус. |
Система технического зрения
|
|
|
|---|---|---|
|
Измерительный видеомикроскоп с системой автоматической фокусировки и функцией 3D-картирования поверхности |
Горизонтальная камера для торцевой стыковки оптики и контроля положения зондов |
Камера свободного обзора, размещаемая на столешнице. Интегрирована в ПО Системы |
PANDA Photonic Suite
Универсальная программно-аппаратная платформа для проведения автоматизированных оптических и оптоэлектронных измерений. Подробнее с ПО можно ознакомиться по ссылке https://photonics.infcs.ru/panda_photonic_suiteЛицензия ПО для образовательных учреждений и исследовательских вузов предоставляется на безвозмездной основе.
Модули PANDA Photonic Suite
Модуль IL/RL
Отдельный модуль программного обеспечения, который позволяет проводить измерения вносимых и возвратных потерь и характеризацию AWG-чипов по стандарту ITU Grid.
Модуль PDL
В модуле реализовано измерение поляризационно-зависимых потерь по методу «All State», что позволяет проводить полноценные измерения параметра.
Модуль OSA
Полностью самостоятельный модуль для измерения спектральных характеристик и зависимостей. Позволяет работать не только с анализатором спектра, но и с дополнительным оборудованием для реализации полноценных спектральных измерений.
Модуль PM
Модуль, который не имеет сценарных ограничений и позволяет работать с любым интегрированным измерителем оптической мощности как с самостоятельным оборудованием.
Модуль RF
Новый модуль, который дает пользователю возможность работы с оптическим и СВЧ-оборудованием для проведения оптоэлектронных измерений без сценарных ограничений и гибкой подстройкой параметров.
Модуль SCENARIOS
Модуль формирования гибких сценариев позволяет добавлять оборудование в виде объектов, устанавливать связи между ними и программировать сценарии измерений. Модуль позволяет:- запрограммировать повторяемые итерационно процессы;
- вручную управлять устройствами эксперимента через одну программу, что особенно актуально для приборов без физического интерфейса;
- запланировать в визуальной среде и запрограммировать эксперимент на Python для автоматизации процессов с множеством перебираемых комбинаций параметров (длин волн, частот, состояний поляризации, каналов, коэффициентов усиления и пр.);
- получать данные измерений в формате CSV для дальнейшей обработки и анализа
