TESCAN MAGNA

TESCAN MAGNA – это мощный инструмент получения изображений с ультравысоким разрешением для наблюдений поверхностных свойств наноматериалов. Сканирующий электронный микроскоп TESCAN MAGNA оснащён электронной колонной Triglav™, комбинирующей в себе иммерсионную оптику и так называемый режим crossover-free, что даёт особенный выигрыш в пространственном разрешении именно при низких энергиях первичного электронного пучка. Режим crossover-free — это режим, в котором нет уширения электронного пучка из-за эффекта расталкивания пространственного заряда, так как по ходу движения пучка нет кроссовера. Также колонна Triglav™ включает в себя уникальную систему детектирования, встроенную внутрь электронной колонны, с селекцией обратно отражённых электронов (BSE) как по энергиям, так и по углам разлёта, что улучшает композиционный контраст и, в частности, позволяет получать изображения с композиционным контрастом от самых тонких приповерхностных слоёв образца.

TESCAN MAGNA — это наилучшее решение для получения изображений с самым высоким разрешением при малых ускоряющих напряжениях в тех случаях, когда изучаются немагнитные образцы. Уникальная система детектирования микроскопа MAGNA позволяет детально дифференцировать типы ответных сигналов благодаря наличию трёх вариантов исполнения детекторов вторичных электронов (один внутрикамерный SE-детектор и два внутрилинзовых) и трёх вариантов детекторов отражённых электронов (один внутрикамерный BSE-детектор и два внутрилинзовых). Высокая производительность при низких энергиях электронного пучка и разнообразие доступных режимов получения изображений контролируются новым программным обеспечением TESCAN Essence™. Дружественный интерфейс TESCAN Essence™, имеющий модульную архитектуру и настраиваемый пользователем под определённую задачу, упрощает управление микроскопом, что увеличивает пропускную способность исследований.

Микроскоп TESCAN MAGNA был разработан целенаправленно для получения СЭМ-изображений с ультравысоким разрешением, реализуемым при низких ускоряющих напряжениях. Зачастую этот микроскоп оснащён также детектором прошедших электронов STEM, который, напротив, применяется с высоким ускоряющим напряжением 30 кВ. Поэтому настоящий микроскоп станет наиболее подходящим выбором для работы с наноматериалами настоящего и будущего, такими как каталитические структуры, нанотрубки, наночастицы и материалы наносборки.

Модели микроскопов TESCAN MAGNA называются MAGNA LMH, MAGNA LMU, MAGNA GMH, MAGNA GMU в зависимости от размера камеры и наличия режима низкого вакуума (подробнее во вкладке «Характеристики»).

Ключевые преимущества:

• Получение высококонтрастных изображений немагнитных материалов с ультравысоким разрешением
• Уникальная система детектирования TriBE™ и TriSE™ (что означает три варианта исполнения SE-детектора и три варианта исполнения BSE-детектора) для детальной селекции ответного электронного сигнала
• Детектор обратно отраженных электронов, встроенный внутрь электронной колонны, с фильтрацией BSE-электронов по энергиям
• Технология In-Flight Beam Tracing™ для быстрого переключение между режимами, оптимальными для получения изображений либо для проведения аналитических исследований
• Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для удобной работы независимо от уровня опыта пользователя

• Настраиваемый графический интерфейс
• Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
• Панель быстрого поиска окон интерфейса
• Отмена последней команды / Возврат последней команды 
• Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
• Многоканальное цветное живое изображение

• Контроль эмиссии электронного пучка
• Автоматизация всех этапов юстировки
• Авто контраст/яркость, автофокус
• In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)
• Оптимизация тока электронного пучка для выбранного диаметра электронного пучка, и наоборот 

• Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
• Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
• Предустановки
• Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
• SharkSEM™ Basic (удалённый контроль)
• 3D-модель схемы коллизий
• Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
• Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
• Таймер выключения
• CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов) *
• Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
• Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
• SharkSEM™ Advanced (создание пользовательских алгоритмов, библиотека скриптов Python) *
• Расширенная самодиагностика *
• Программа-клиент Synopsys (расширение модуля Позиционер, которое совмещает данные макета из внешнего ПО Avalon MaskView c изображениями СЭМ или FIB через удаленное соединение; в основном предназначено для анализа неисправностей полупроводниковых устройств) *
• TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *