- Микроанализ приблизительно в десять раз более чувствительный по сравнению с ЭДС
- Анализ элементов-примесей (<0.1 - <0.01%)
- Спектральное разрешение от 2эВ (Si Kα) – на порядок лучше ЭДС
- Разделение близко расположенных пиков
- Точная идентификация пиков
- Наилучшая чувствительность для анализа легких элементов
- Рентгеновское картирование с наилучшим отношением пик/фон
Программа для интеграции волнодисперсионной и энергодисперсионной систем микроанализа (для использования с системой INCA Wave WDS). Входит в комплект при единовременной поставке двух спектрометров. Позволяет произвольно выбирать тип спектрометра для каждого элемента как при количественном анализе, так и при картировании.
Многие растровые микроскопы допускают одновременную установку ЭД и ВД спектрометров: (1) оба детектора направлены в одну точку; (2) обеспечиваются необходимые величины рабочего расстояния и угла отбора
ЭДС: за несколько секунд можно получить полный спектр образца и определить его качественный и количественный химический состав
ВДС: обеспечивает более точный результат, но это относительно медленный последовательный метод анализа
Совместное использование двух спектрометров существенно повышает производительность анализа, а программная среда на базе INCA гарантирует простоту и удобство управления
Наклонная геометрия для снижения эффекта расфокусирования при изменении рабочего растояния микроскопа до ±1 мм - не требуется оптический микроскоп для точной фокусировки спектрометра.
INCA Wave 500. Четыре дифракционных кристалла в управляемой компьютером 6-ти позиционной моторизованной турели. Смена кристаллов в любой позиции. Обеспечивает анализ любых элементов от бора.
| Кристалл | 2d, нм | Диапазон энергий, кэВ | Тип |
| LiF | 0,40267 | 10,84-3,33 | Йохансона |
| PET | 0,8742 | 4,99-1,54 | Йохансона |
| TAP | 2,575 | 1,70-0,52 | Йохансона |
| LSM80N | 7,8 | 0,56-0,17 | Йохана |
INCA Wave 700. Пять дифракционных кристалла в управляемой компьютером 6-ти позиционной моторизованной турели. Смена кристаллов в любой позиции. Обеспечивает анализ любых элементов от бериллия.
| Кристалл | 2d, нм | Диапазон энергий, кэВ | Тип |
| LiF | 0,40267 | 10,84-3,33 | Йохансона |
| PET | 0,8742 | 4,99-1,54 | Йохансона |
| TAP | 2,575 | 1,70-0,52 | Йохансона |
| LSM60 | 6,0 | 0,73-0,22 | Йохана |
| LSM200 | 19,7 | 0,22-0,07 | Йохана |
В турель можно вставить дополнительные кристаллы на выбор
Воспроизводимость позиции по длине волны ± 0,000014 нм для кристалла LiF (200)
Смонтированные тандемом проточный и запаянный газовые пропорциональные счетчики
Контролируемый компьютером мотор для управления шириной приемной щели перед детекторами
Контролируемый компьютером мотор для изменения позиции щели перед детекторами
Моторизованный шлюз для отсечения камеры спектрометра от камеры микроскопа
| Обозначение кристалла | Тип кристалла | Межплоскостное расстояние 2d, Å | Аналитический диапазон по длинам волн, Å | Аналитический диапазон по энергии, кэВ | Диапазон элементов (К-линии) |
| LIF(220) | Фторид лития | 2.8473 | 0.8087 - 2.6306 | 15.330 – 4.712 | от V до Y |
| LIF(200) | Фторид лития | 4.0267 | 1.1436 - 3.7202 | 10.841 – 3.332 | от Ca до Ge |
| PET | Пентаэритринол | 8.74 | 2.4827 - 8.0765 | 4.994 – 1.535 | Si to Ti |
| TAP | Оксифталат таллия | 25.75 | 7.3130 - 23.79 | 1.695 – 0.5212 | от O до Si |
| LSM-060 | Синтетический многослойный материал с чередованием слоев кремния и вольфрама | ~61 | ~17 - ~56 | ~0.729 - ~0.221 | от C до F |
| LSM-080 | Синтетический многослойный материал с чередованием слоев никеля и углерода | ~78 | ~22 - ~72 | ~0.564 - ~0.172 | от B до O |
| LSM-200 | Синтетический многослойный материал с чередованием слоев молибдена и карбида бора B4C | ~204 | ~58 - ~190 | ~0.214 - ~0.065 | Be и B |