Возможна установка дополнительных интегрированных систем микроанализа - волнодисперсионного спектрометра Inca Wave и/или систем анализа дифракции отраженных электронов (ДОЭ) Aztec HKL - одновременно с ЭДС или позже. Кроме того, некоторые модели микроскопов допускают установку более одного - до четырех - однотипных детекторов Ultim Max, что позволяет существенно увеличить чувствительность и быстродействие системы микроанализа.
Программное обеспечение AztecLive построено на основе Навигаторов, которые проводят оператора через последовательность необходимых шагов наиболее быстрым и логичным путем, и в то же время сохраняют гибкость, позволяющую действовать по своему желанию. Каждый шаг Навигатора предоставляет отдельный экран, содержащий все необходимые инструменты анализа.
Хотя стандартное программное обеспечение и включает все базовые функции для работы с ЭДС - оно не включает ряд продвинутых функций микроанализа, таких как обработка карт и профилей TruMap, автоматичекий анализ и т.д. (см. таблицу):
AZtecLive Energy Lite |
AZtecLive Energy Standard |
AZtecLive Energy Advanced |
AZtecLive Energy Automated |
|
AZtecLive |
+ |
+ | + | + |
Анализатор |
+ | + | + | + |
Point & ID |
+ | + | + | + |
Профиль |
+ |
+ | + | + |
Карта |
+ |
+ | + | + |
Оптимизация (включая Менеджер стандартизации) |
опция |
+ | + | + |
AutoLayer - автоматическое цветное отображение вариаций состава на картах |
опция |
+ | + | + |
AutoPhase - автоматическое отображение фаз на карте |
опция |
опция |
+ | + |
TruMap (для карт и профилей) – автоматическое разделение перекрывающихся пиков спектра и вычитание фона для правильного отображения вариацих хим. состава. |
опция |
опция |
+ | + |
AutoLock (коррекция дрейфа) с предиктивным алгоритмом |
опция |
опция |
+ | + |
QuantMap, QuantLine - количественная карта и количественный профиль по линии |
опция |
опция | + | + |
AztecLAM - картирование большой площади (с автоматическим перемещением столика с образцом) |
опция |
опция |
опция |
+ |
MapQueue - очередь автоматического картирования |
опция |
опция |
опция |
+ |
Регистрация изображений для навигации (можно ввести изображение образца, например, с оптического микроскопа – и использовать это изображения для навигации по образцу) |
опция |
+ | + | + |
AZtec Feature Analysis - программа автоматического поиска и классификации включений, включая автоматическое управление столиком микроскопа |
опция |
опция |
опция |
+ |
AZtec Steel программа автоматического поиска и классификации неметаллических включений в сталях |
опция |
опция |
опция |
опция |
AZtec GSR - программа автоматического анализа продуктов выстрела, для криминалистики |
опция |
опция |
опция |
опция |
LayerProbe - анализ тонких многослойных покрытий |
опция |
опция |
опция |
опция |
Aztec Synergy - интеграция ЭДС и EBSD |
опция |
опция |
опция |
опция |
- Полупроводниковый детектор (ППД) рентгеновского излучения Ultim MAX с активной площадью кристаллов, на выбор – 40, 65, 100, 170 мм2 (поддерживается одновременно до 4-х детекторов) Анализ элементов в диапазоне от бериллия до калифорния, Система охлаждения - безазотная.
- Цифровой процессор импульсов (*) и цифровая система захвата изображения X4. С процессором Х4 гарантируется, что в диапазоне скоростей счета от 1000 до 400 000 имп/с разрешение и позиция пиков могут изменяться не более чем на 1эВ. Получение надежных количественных результатов возможно при скоростях счета свыше 400 тыс. имп/сек.на один детектор. Обработка спектров и картирование элементов может выполняться при скорости счета свыше 1 500 000 имп/с. Интегрированная система захвата изображения позволяет получать цифровые электронные изображения и осуществлять управление электронным зондом.
- Компьютер с OC Windows 10 64 бит и программа Aztec для анализа и интерпретации полученных данных. Один или более ЖК мониторов
(*) С середины 90-х годов прошлого века Oxford Instruments использует только полностью цифровые процессоры импульсов, без аналоговой обработки. Преимущество таких процессоров - более воспроизводимые и точные результаты обработки спектров, т.к. с цифровым сигналом проще работать при устранении разнообразных артефактов, связанных, в том числе, и с высокими нагрузками на детектор при больших скоростях счета (пики суммирования
(**), В цифровых процессорах Oxford Instruments они полностью устраняются вплоть до третьего порядка, а потери – компенсируются). Х4 – это новый тип полностью цифрового процессора. Он работает быстрее и обеспечивает получение спектров, свободных от ложных пиков (пиков суммирования) и других артефактов, влияющих на конечный результат.
(**) - пики суммирования – это нежелательные артефакты спектра, возникающие, когда в систему счета ЭДС детектора приходят одновременно два или более рентгеновских фотона. Они регистрируются на суммарной энергии, в результате чего в спектре появляются пики, не связанные в присутствием какого-либо элемента в образце (например, для чистого SiO2, помимо пиков кремния и кислорода могут появиться ложные пики на суммарной энергии линий Si+Si, Si+O, O+O, Si+Si+O, Si+O+(O+Si) и т.п..) Такие пики могут быть ложно идентифицированы как пики другого элемента, что приведет к неправильным выводам о составе образца. Вероятность их появления тем выше, чем выше скорость счета. Для точного качественного и количественного анализа состава их требуется не только удалить из спектра, но также необходимо вернуть потерянные на их образование импульсы в исходные пики.