Корпоративный сайт
8 800 222-77-59
Задать вопрос
Компания
  • О компании
  • Партнеры
  • Вакансии
  • Контакты
  • Реквизиты
Оборудование и ПО
  • Аддитивные технологии
    • Специализированное ПО
    • 3D-принтеры
    • Вспомогательное оборудование
    • Контроль качества
    • Материалы для 3D-печати
  • Оборудование для интегральной фотоники
    • Оптические измерения
    • Источники излучения и аттенюаторы
    • Монтаж волоконных выводов
    • Оптические зондовые станции
    • Инспекция / контроль качества
    • Системы позиционирования и оптомеханика
    • Оборудование для волоконной оптики
    • Испытания устройств внешним воздействием
  • Исследовательское оборудование
    • Анализ формы и размера частиц
    • Анализ химического и фазового состава
    • Микроскопия
    • Электронная микроскопия
    • Анализ поверхности и наноструктур
    • Механические испытания
    • Твердомеры
    • Термоанализ и реология
  • Новые материалы
    • Нановолокна
Услуги
  • Аддитивное проектирование
    • Проектирование и реверс-инжиниринг
    • Инженерный анализ, оптимизация конструкций и метаматериалов
    • Технологическая подготовка в аддитивном производстве
    • Моделирование процессов аддитивного производства и компенсация технологических деформаций
  • Фотоника
    • Разработка измерительных комплексов
    • Разработка систем юстировки оптических каналов
  • Заказное производство
    • 3D-печать заготовок деталей и оснастки из полимерных материалов
    • Обработка сложнопрофильных металлических деталей
    • Разработка и производство функциональных макетов
    • 3D-печать из металлов на заказ
    • 3D-печать моделей для литья металлов
  • Техническое обслуживание
    • Техническое обслуживание
  • Обучение и консалтинг
    • Обучение в области аддитивных технологий
    • Проектирование центров 3D-печати под ключ
База знаний
  • Видео материалы
  • Статьи
Новости
Федеральный
Санкт-Петербург
Москва
Пермь
Федеральный
Иннфокус
Компания
  • О компании
  • Партнеры
  • Вакансии
  • Контакты
  • Реквизиты
Оборудование и ПО
  • Аддитивные технологии
    Аддитивные технологии
    • Специализированное ПО
    • 3D-принтеры
    • Вспомогательное оборудование
    • Контроль качества
    • Материалы для 3D-печати
  • Оборудование для интегральной фотоники
    Оборудование для интегральной фотоники
    • Оптические измерения
    • Источники излучения и аттенюаторы
    • Монтаж волоконных выводов
    • Оптические зондовые станции
    • Инспекция / контроль качества
    • Системы позиционирования и оптомеханика
    • Оборудование для волоконной оптики
    • Испытания устройств внешним воздействием
  • Исследовательское оборудование
    Исследовательское оборудование
    • Анализ формы и размера частиц
    • Анализ химического и фазового состава
    • Микроскопия
    • Электронная микроскопия
    • Анализ поверхности и наноструктур
    • Механические испытания
    • Твердомеры
    • Термоанализ и реология
  • Новые материалы
    Новые материалы
    • Нановолокна
Услуги
  • Аддитивное проектирование
    Аддитивное проектирование
    • Проектирование и реверс-инжиниринг
    • Инженерный анализ, оптимизация конструкций и метаматериалов
    • Технологическая подготовка в аддитивном производстве
    • Моделирование процессов аддитивного производства и компенсация технологических деформаций
  • Фотоника
    Фотоника
    • Разработка измерительных комплексов
    • Разработка систем юстировки оптических каналов
  • Заказное производство
    Заказное производство
    • 3D-печать заготовок деталей и оснастки из полимерных материалов
    • Обработка сложнопрофильных металлических деталей
    • Разработка и производство функциональных макетов
    • 3D-печать из металлов на заказ
    • 3D-печать моделей для литья металлов
  • Техническое обслуживание
    Техническое обслуживание
    • Техническое обслуживание
  • Обучение и консалтинг
    Обучение и консалтинг
    • Обучение в области аддитивных технологий
    • Проектирование центров 3D-печати под ключ
База знаний
  • Видео материалы
  • Статьи
Новости
    Федеральный
    Санкт-Петербург
    Москва
    Пермь
    Федеральный
    8 800 222-77-59
    En
    Задать вопрос
    Иннфокус
    Компания
    • О компании
    • Партнеры
    • Вакансии
    • Контакты
    • Реквизиты
    Оборудование и ПО
    • Аддитивные технологии
      Аддитивные технологии
      • Специализированное ПО
      • 3D-принтеры
      • Вспомогательное оборудование
      • Контроль качества
      • Материалы для 3D-печати
    • Оборудование для интегральной фотоники
      Оборудование для интегральной фотоники
      • Оптические измерения
      • Источники излучения и аттенюаторы
      • Монтаж волоконных выводов
      • Оптические зондовые станции
      • Инспекция / контроль качества
      • Системы позиционирования и оптомеханика
      • Оборудование для волоконной оптики
      • Испытания устройств внешним воздействием
    • Исследовательское оборудование
      Исследовательское оборудование
      • Анализ формы и размера частиц
      • Анализ химического и фазового состава
      • Микроскопия
      • Электронная микроскопия
      • Анализ поверхности и наноструктур
      • Механические испытания
      • Твердомеры
      • Термоанализ и реология
    • Новые материалы
      Новые материалы
      • Нановолокна
    Услуги
    • Аддитивное проектирование
      Аддитивное проектирование
      • Проектирование и реверс-инжиниринг
      • Инженерный анализ, оптимизация конструкций и метаматериалов
      • Технологическая подготовка в аддитивном производстве
      • Моделирование процессов аддитивного производства и компенсация технологических деформаций
    • Фотоника
      Фотоника
      • Разработка измерительных комплексов
      • Разработка систем юстировки оптических каналов
    • Заказное производство
      Заказное производство
      • 3D-печать заготовок деталей и оснастки из полимерных материалов
      • Обработка сложнопрофильных металлических деталей
      • Разработка и производство функциональных макетов
      • 3D-печать из металлов на заказ
      • 3D-печать моделей для литья металлов
    • Техническое обслуживание
      Техническое обслуживание
      • Техническое обслуживание
    • Обучение и консалтинг
      Обучение и консалтинг
      • Обучение в области аддитивных технологий
      • Проектирование центров 3D-печати под ключ
    База знаний
    • Видео материалы
    • Статьи
    Новости
      Федеральный
      Санкт-Петербург
      Москва
      Пермь
      Федеральный
      En
      Задать вопрос
      Иннфокус
      En
      Телефоны
      8 800 222-77-59 Федеральный
      Заказать звонок
      Иннфокус
      • Компания
        • Компания
        • О компании
        • Партнеры
        • Вакансии
        • Контакты
        • Реквизиты
      • Оборудование и ПО
        • Оборудование и ПО
        • Аддитивные технологии
          • Аддитивные технологии
          • Специализированное ПО
          • 3D-принтеры
          • Вспомогательное оборудование
          • Контроль качества
          • Материалы для 3D-печати
        • Оборудование для интегральной фотоники
          • Оборудование для интегральной фотоники
          • Оптические измерения
          • Источники излучения и аттенюаторы
          • Монтаж волоконных выводов
          • Оптические зондовые станции
          • Инспекция / контроль качества
          • Системы позиционирования и оптомеханика
          • Оборудование для волоконной оптики
          • Испытания устройств внешним воздействием
        • Исследовательское оборудование
          • Исследовательское оборудование
          • Анализ формы и размера частиц
          • Анализ химического и фазового состава
          • Микроскопия
          • Электронная микроскопия
          • Анализ поверхности и наноструктур
          • Механические испытания
          • Твердомеры
          • Термоанализ и реология
        • Новые материалы
          • Новые материалы
          • Нановолокна
      • Услуги
        • Услуги
        • Аддитивное проектирование
          • Аддитивное проектирование
          • Проектирование и реверс-инжиниринг
          • Инженерный анализ, оптимизация конструкций и метаматериалов
          • Технологическая подготовка в аддитивном производстве
          • Моделирование процессов аддитивного производства и компенсация технологических деформаций
        • Фотоника
          • Фотоника
          • Разработка измерительных комплексов
          • Разработка систем юстировки оптических каналов
        • Заказное производство
          • Заказное производство
          • 3D-печать заготовок деталей и оснастки из полимерных материалов
          • Обработка сложнопрофильных металлических деталей
          • Разработка и производство функциональных макетов
          • 3D-печать из металлов на заказ
          • 3D-печать моделей для литья металлов
        • Техническое обслуживание
          • Техническое обслуживание
          • Техническое обслуживание
        • Обучение и консалтинг
          • Обучение и консалтинг
          • Обучение в области аддитивных технологий
          • Проектирование центров 3D-печати под ключ
      • База знаний
        • База знаний
        • Видео материалы
        • Статьи
      • Новости
      Задать вопрос
      • Федеральный
        • Города
        • Санкт-Петербург
        • Москва
        • Пермь
        • Федеральный
      • 8 800 222-77-59 Федеральный
        • Телефоны
        • 8 800 222-77-59 Федеральный
        • Заказать звонок
      • Головной офис г. Пермь

        +7 342 225-11-31
         ул. Стахановская, 54П, офис 231


      • in@infcs.ru

      Стандартные линейные платформы

      Главная
      —
      Технологии
      —
      Оборудование для интегральной фотоники
      —
      Системы позиционирования и оптомеханика
      —
      Пьезопозиционеры THK Precision
      —Стандартные линейные платформы
      Стандартные линейные платформы
      Запросить коммерческое предложение
      Стандартные линейные платформы
      Standard linear stages constitute a basic series among the piezo stage lineup, which ranges from single-axis types to integrated three-axes types with various strokes.
      Подробнее
      Характеристики
      Производитель
      —
      THK PRECISION CO., LTD
      Стандартные линейные платформы
      Запросить коммерческое предложение
      • Описание
      • Технические характеристики
      Classification of performances with two mechanisms
      The mechanisms are classified into a "direct-drive mechanism," which has a high resonant frequency and is focused on high-speed response, and a "displacement magnification mechanism," which secures a stroke.

      Direct-drive mechanism
      • A mechanism in which a piezo-electric elements directly moves the table.
      • It excels in resolution and response thanks to a short stroke.
      • With high rigidity, it is capable of performing stable positioning even under a large load.
      Displacement magnification mechanism
      • The product has a mechanism for mechanically amplifying the elongation of the piezo-electric element.
      • A stroke several times to more than ten times longer than the direct-drive type can be obtained according to the magnification ratio.
      • Feedback control with the built-in displacement sensor also enables the positioning reproducibility to be maintained.
      Applications
      • Semiconductor and FPD inspection
      • HDD Tester
      • Laser optic alignment
      • Interferometer devices
      • Analytical Instruments
      • Nanometer positioning
      Lineup

      PS1H / PS1L

      Standard linear X-axis stage

      PS1H Direct-drive mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS1H25-006U 6 1 ±1 13000 5 25×30×16
      PS1H35-006U 6 1 ±1 9700 10 35×35×16
      PS1H45-012U 12 1 ±1 6200 10 45×45×16
      PS1H60F-012U 12 1 ±1 4100 50 60×60×20
      PS1H40F-020U 20 1 ±1 4100 30 48×60×13.5
      PS1H60-020U 20 1 ±1 3300 10 60×60×16
      PS1H80-030U 30 1 ±1 1900 10 80×80×16
      PS1H80F-030U 30 1 ±1 1900 50 80×80×20

      PS1L Displacement magnification mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS1L45-030U 30 1 ±1 1500 10 45×50×20
      PS1L40-050U 50 2 ±2 970 5 40×45×15
      PS1L60-060U 60 2 ±2 1300 10 60×70×20
      PS1L40-100U 100 2 ±2 510 5 40×45×15
      PS1L65-250U 250 10 ±10 360 5 65×65×15
      PS1L66-500U 500 20 ±20 200 5 66×66×17
      PS1L80-700U 700 30 ±30 106 5 80×80×20

      PS2H / PS2L
      Standard linear XY-axes stage

      PS2H Direct-drive mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS2H60-012U (X,Y)12 (X,Y)1 (X,Y)±1 2000 10 60×80×25
      PS2H95-012U (X,Y)12 (X,Y)1 (X,Y)±1 3800 10
      95×95×25
      PS2H60-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 1600 10
      60×80×25
      PS2H110-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 3400 10
      110×110×25

      PS2L Displacement magnification mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS2L50-050U (X,Y)50 (X,Y)2
      (X,Y)±2 420 5 50×50×25
      PS2L92-050U (X,Y)50 (X,Y)2
      (X,Y)±2 1300 10 92×92×25
      PS2L100-080U (X,Y)80 (X,Y)2
      (X,Y)±2 480 10 100×100×30
      PS2L50-100U (X,Y)100 (X,Y)2
      (X,Y)±2 280 5 50×50×25
      PS2L60-250U (X,Y)250 (X,Y)10
      (X,Y)±10 120 5 60×60×26

      PSVH / PSVL
      Standard linear Z-axis stage

      PSVH Direct-drive mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PSVH35-006U 6 1 ±1 3500 10 35×35×26
      PSVH45-012U 12 1 ±1 2600 10 45×45×36
      PSVH60F-012U 12 1 ±1 1600 50 60×60×40
      PSVH80F-030U 30 1 ±1 1200 50 80×80×60

      PSVL Displacement magnification mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PSVL45-060U 60 2 ±2 570 5 45×45×32
      PSVL45F-100U 100 2 ±2 300 10 45×45×32
      PSVL60-100U 100 2 ±2 380 5 60×60×32
      PSVL60F-100U 100 2 ±2 270 10 60×60×38
      PSVL60F-150U 150 5 ±5 190 10 60×60×32
      PSVL80F-300U 300 10 ±10 180 10 80×80×38

      PS3H / PS3L
      Standard linear XYZ-axes stage

      PS3H Direct-drive mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS3H70-020UA (X,Y)20,(Z)12 (X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 970 10 80×70×65
      PS3H120-030U (X,Y,Z)30
      (X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 740 10 120×120×30

      PS3L Displacement magnification mechanism

      Model Number Travel range
      [μm]
      Resolution
      [nm]
      Repeatability
      [nm]
      Resonant frequency
      [Hz]
      Load capacity
      [N]
      Size
      [mm]
      PS3L100-080UA (X,Y)80,(Z)20 (X,Y)2,(Z)1
      (X,Y)±2,(Z)±1 400 10 100×100×30
      PS3L68-100U (X,Y,Z)100 (X,Y,Z)2 (X,Y,Z)±2 250 5 68×68×40
      Назад к списку

      Компания
      О компании
      Партнеры
      Вакансии
      Контакты
      Реквизиты
      Оборудование
      Аддитивные технологии
      Оборудование для интегральной фотоники
      Исследовательское оборудование
      Новые материалы
      Услуги
      Аддитивное проектирование
      Фотоника
      Заказное производство
      Техническое обслуживание
      Обучение и консалтинг
      8 800 222-77-59
      in@infcs.ru
      Головной офис г. Пермь

      +7 342 225-11-31
       ул. Стахановская, 54П, офис 231


      © 2025 Все права защищены.
      ООО "ИННФОКУС"
      Нас ищут: инфокус (infocus)

      Политика конфиденциальности
      Положение об антикоррупционной политике
      Главная Оборудование Контакты Услуги Новости Партнеры Компания