TESCAN VEGA Compact

TESCAN VEGA Compact – производительный аналитический сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) начального уровня. Представляет из себя компактный вариант исполнения хорошо известного микроскопа TESCAN VEGA. Благодаря компактной и упрощенной конфигурации, в которой оптимизированы функции обработки изображений и анализа состава, VEGA Compact становится экономически эффективным решением для лабораторий, где приоритетом является понимание основных отличительных особенностей образцов.

СЭМ TESCAN VEGA Compact позволяет получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени в одном окне программного обеспечения TESCAN Essence™, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе и делает этот микроскоп эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.

Модернизированная колонна электронного микроскопа управляется усовершенствованной электроникой, которая обеспечивает мгновенный переход от режима получения изображений при больших увеличениях к режиму исследования элементного состава образцов без механической смены апертур или механической юстировки каких-либо элементов внутри колонны. С программным обеспечением для энергодисперсионного микроанализа (EDS), интегрированным в программу управления микроскопом (Essence™ EDS), переход от получения изображений к анализу составов быстрый и лёгкий. Один клик позволяет переключаться между предустановками, сохраняющими все настройки параметров микроскопа.

Кроме того, режим Wide Field Optics™ гарантирует точную навигацию к области интереса и предоставляет оператору возможность обзора всей карусели образцов в реальном времени. Wide Field Optics™ обеспечивает беспрецедентную глубину фокуса и ширину поля зрения без использования фотонавигации. Наряду с наблюдением фактической топографии поверхности образцов данный режим позволяет осуществлять интуитивную навигацию по всей их поверхности. Начните наблюдение в окне СЭМ в реальном времени с двукратным увеличением для обозрения карусели образцов, затем переходите к областям интереса, непрерывно изменяя увеличение в большую сторону, всё это без использования оптической навигационной камеры.  

Управление микроскопом TESCAN VEGA Compact осуществляется из многопользовательского программного обеспечения TESCAN Essence™, которое имеет большое количество инструментов для ускорения аналитической работы, таких как функция быстрого поиска, наборы предустановок, отмена последней команды. Программное обеспечение TESCAN Essence™ позволяет пользователю выстраивать рабочий процесс в соответствии с его уровнем опыта и/или конкретными требованиями. Программное обеспечение TESCAN Essence™ также позволяет пользователям настраивать экранный интерфейс таким образом, чтобы отображались только те функции и окна, которые необходимы для конкретной работы, что помогает малоопытному пользователю без труда получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава. Кроме того, виртуальная 3D-модель коллизий Essence™ Collision model точно воспроизводит внутреннее пространство камеры и отображает в реальном времени размеры, расположение и перемещение столика с образцами и оборудования, установленного внутри. Модель Essence™ Collision model предсказывает опасность или безопасность предполагаемых перемещений столика относительно частей камеры микроскопа для каждой конкретной процедуры съемки изображения или проведения анализа, чтобы столкновение образцов с выдвижным BSE-детектором было практически невозможно. В стандартную комплектацию VEGA Compact входят детектор вторичных электронов (SE) и 4-сегментный полупроводниковый детектор отражённых электронов (4Q BSE), которые позволяют получать изображения образца с топографическим и композиционным контрастом соответственно. Оба сигнала могут регистрироваться одновременно для ускорения процесса получения изображений. Для лабораторий, которые проводят быстрый и рутинный анализ элементного состава исследуемых материалов, VEGA Compact гарантирует условия высокого вакуума (10-3 Па) для получения качественных результатов анализа с помощью единого и простого интерфейса. Вакуумная камера VEGA Compact вмещает образцы диаметром более 100 мм и высотой более 50 мм.

Описанные выше особенности делают TESCAN VEGA Compact целевым аналитическим решением для контроля качества и изучения характеристик различных материалов как в производственных, так и в научно-исследовательских лабораториях.

• Аналитическая платформа с полностью интегрированной системой TESCAN Essence™ EDS, которая эффективно объединяет режим получения СЭМ-изображений и анализ элементного состава в одном окне программного обеспечения Essence™.
• Плавный переход без дополнительных юстировок между пред-настроенными режимами сканирования (например, режимом получения СЭМ-изображений при больших увеличениях и режимом анализа элементного состава) осуществлен благодаря внедрению запатентованной TESCAN технологии In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени).
• Легкая и точная навигация по образцу при увеличении от 2× без необходимости использования дополнительной оптической навигационной камеры благодаря уникальной конструкции электронной оптики Wide Field Optics™.
• Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для удобной работы независимо от уровня опыта пользователя.
• Движение столика с образцами безопасно для установленных в камеру детекторов, что гарантируется 3D-моделью камеры образцов, включающей в себя схему коллизий Essence™ 3D Collision model.
• Опция Vacuum Buffer для снижения акустического шума при работе форвакуумного насоса, а также для снижения вибрации от форвакуумного насоса при получении изображений с высоким разрешением.

• Настраиваемый графический интерфейс
• Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
• Панель быстрого поиска окон интерфейса
• Отмена последней команды / Возврат последней команды 
• Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
• Многоканальное цветное живое изображение

• Контроль эмиссии электронного пучка
• Нагрев электронной пушки
• Центрирование электронной пушки
• Центрирование электронной колонны
• Контроль вакуума
• Автоматическая диагностика
• Автоматизация всех этапов юстировки
• Авто контраст/яркость, автофокус
• In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)

• Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
• Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
• Предустановки
• Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
• SharkSEM™ Basic (удалённый контроль, требуется для интеграции с детектором EDS стороннего производителя) *
• 3D-модель схемы коллизий
• Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
• Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
• Таймер выключения
• CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов) *
• Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
• Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
• TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *