Для подавления внешних электромагнитных полей в диапазоне частот от постоянного DC-поля до 9 кГц и более
Система SC26 служит для подавления внешних электромагнитных полей в диапазоне частот от постоянного DC-поля до 9 кГц и более. Для обеспечения такой ширины диапазона SC26 обладает расширенной полосой пропускания благодаря кабелям с малой индуктивностью, размещаемым либо непосредственно на раме корпуса прибора с электронно-лучевой системой, либо на металлической рамке вокруг электронных колонн таких устройств как электронно-лучевой литограф или электронный микроскоп.
!!! Систему SC26 нельзя устанавливать в варианте «комнатной» установки с размещением контуров кабелей на стенах помещения, так как в этом случае используются кабеля большого сечения с, соответственно, индуктивностью большей, чем необходимая для обеспечения требуемой ширины полосы пропускания.
Такие высокочастотные поля могут наблюдаться на фабриках, выпускающих микроэлектронные устройства. Источник переменных 9 кГц полей - транспортные роботы для переноса полупроводниковых пластин 300-мм. Данный тип помех значительно ограничивает возможности электронно-лучевого литографа или микроскопа, оснащенного данной опцией – не позволяет достичь необходимой точности при перемещении электронного пучка к следующему узлу на пластине.
Система SC26 обеспечивает стабильную и качественную работу электронно-лучевого оборудования на фабриках, производящих микроэлектронные устройства.
- Эффективно подавляет внешние электромагнитные поля в области установки электронно-лучевого оборудования на фабриках по производству микроэлектронных устройств;
- Непрерывное широкополосное подавление внешних электромагнитных полей в реальном времени в диапазоне частот от постоянного DC-поля до 9 кГц;
- Система адаптируется к изменению амплитуды и частоты электромагнитного поля с высокой скоростью отклика – в пределах 10 мкс, что позволяет обеспечить непрерывность и стабильность подавления электромагнитных полей;
- Сенсорный экран с интуитивно понятным пользовательским интерфейсом, полностью автоматическая настройка системы и возможность сброса измеренных значений DC-поля;
- Одновременное отображение текущих значений полей AC и DC на экране в Тл или Гс;
- Смешивание сигналов от двух однотипных датчиков для создания так называемого виртуального датчика внутри электронной колонны;
- Встроенный генератор тестового поля;
- Порты Ethernet и USB для обеспечения подключений для удаленного контроля и мониторинга электромагнитных полей.
- Электронный блок управления SC26;
- Датчик SC26 / AC (в количестве от 1 до 2);
- Датчик SC24 / DC + AC (в количестве от 1 до 2);
- Объединитель сигналов от двух типов датчиков SC26 combiner (в количестве от 1 до 2);
- Три многожильных кабеля (катушки Гельмгольца) в вариантах длин для одно- и двухконтурного размещения;
- Рамка для размещения кабелей контуров вокруг электронной колонны (при необходимости);
- Набор принадлежностей для крепления кабелей.
- Датчик SC26 / AC – 200 кГц трёхосевой датчик переменного магнитного поля (синего цвета). Он обеспечивает эффективное подавление полей частотой до 10 Гц.
- Датчик SC24 / DC + AC – датчик постоянного DC-поля, комбинированный с трёхосевым датчиком переменного магнитного поля 50/60 Гц (черного цвета).
| ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛЕЙ: | мГс, нТл, мкТл – по желанию пользователя |
| ПОДАВЛЕНИЕ ПОЛЕЙ | |
| Координаты: | X, Y, Z картезианской системы координат |
| Подавляемые компоненты | Электромагнитные поля по осям X, Y, Z |
| Динамический диапазон (X и Y) | 5 мкТл pk-pk |
| 1. Для комплектов: а) с одним датчиком SC26/AC; б) с двумя датчиками SC26/AC | |
| Фактор подавления поля | 20 крат при 9 кГц |
| 40 крат при 60 Гц | |
| Предел шума (в диапазоне от 1 Гц до 10 кГц) | 0.6 нТл RMS |
| 2. Для комплектов: а) с датчиками SC26/AC и SC24/DC+AC; б) с двумя датчиками SC26/AC и двумя датчиками SC24/DC+AC | |
| Предел внешнего постоянного DC-поля | макс. ± 200 мкТл |
| Фактор подавления поля | 20 крат при 9 кГц |
| 200 крат при 60 Гц и DC | |
| Диапазон частот | постоянное магнитное поле – 5000 Гц |
| Предел шума (в диапазоне от постоянного DC-поля до 10 кГц) | 0.7 нТл RMS |
| Дрейф постоянного DC-поля | < 2 нТл/24 часа |
| ИЗМЕРЕНИЕ ПОЛЕЙ | |
| Режимы: | в реальном времени |
| AC RMS или pk-pk | |
| инкрементальный DC | |
| Отображение | LCD тачскрин |
| Динамический диапазон датчика | 4.2 мкТл pk-pk |
| Точность | ± 1% считывания ± 1 нТл |
| Значения на выходах X, Y, Z в режиме реального времени | |
| Шкала | 10 В/мкТл (1 В/мГс) |
| Диапазон | ± 12 В |
| Сопротивление источника | 2.7 кОм |
| Коннекторы | 3 BNC |
| Пропускная способность | 25 Гц – 60 кГц (Для комплектов: а) с одним датчиком SC26/AC; б) с двумя датчиками SC26/AC) |
| DC – 60 Гц (Для комплектов: а) с датчиками SC26/AC и SC24/DC+AC; б) с двумя датчиками SC26/AC и двумя датчиками SC24/DC+AC) | |
| ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОГО ПОЛЯ | |
| Синусоидальная волна | Частота сети переменного тока (50/60 Гц) - линия заблокирована |
| Квадратная волна | 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 9000 Гц |
| ПИТАНИЕ | 120/240 В 50/60 Гц, 100 ВА |